檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "徐勝均".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="雷射直寫技術"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
雷射直寫技術之於黃光微影製程的優勢是無需光罩,而以雷射光束聚焦在光阻上直接定義電路圖案,對此一個基於雙軸振鏡的雷射掃描系統,能夠將數十微米的聚焦光點快速定位在曝光面的任意處,不過掃描過程中存在像場變…